石英坩堝在制作過程中為什么開裂?

謝小蜜呀 2012-03-27 10:30:10 438 瀏覽

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請問多晶硅鑄錠用熔融石英坩堝氮化硅涂層如何制作。: 我是一位材料研究生，Z近導(dǎo)師接了一個課題研究多晶硅鑄錠用熔融石英坩堝氮化硅涂層，將主要任務(wù)分給我做，由于小弟才疏學淺，diyi步如何制作涂層也不會，請教各位大大，還望高人指點... 我是一位材料研究生，Z近導(dǎo)師接了一個課題研究多晶硅鑄錠用熔融石英坩堝氮化硅涂層，將主要任務(wù)分給我做，由于小弟才疏學淺，diyi步如何制作涂層也不會，請教各位大大，還望高人指點。謝謝。展開

石英坩堝: 我公司生產(chǎn)的石英坩堝是采用國際Z先進的生產(chǎn)工藝電弧法生產(chǎn)，半透明狀，是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。坩堝外側(cè)是一層具有高氣泡密度的區(qū)域，稱為氣泡... 我公司生產(chǎn)的石英坩堝是采用國際Z先進的生產(chǎn)工藝電弧法生產(chǎn)，半透明狀，是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。坩堝外側(cè)是一層具有高氣泡密度的區(qū)域，稱為氣泡復(fù)合層，內(nèi)側(cè)則是一層3~5mm的透明層，稱之為氣泡空乏層。氣泡復(fù)合層的目的是在與均勻的輻射有加熱器所提供的輻射熱源。氣泡空乏層的目的在于降低與溶液接觸區(qū)域的氣泡密度，而改善單晶生長的成功率及晶棒品質(zhì)。噴涂工藝的的增加可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長晶良率。同時可以增加石英坩堝的強度，減少高溫軟化現(xiàn)象，延長使用壽命。我公司生產(chǎn)的石英坩堝常年供應(yīng)給塞維等使用，是塞維公司常年合作伙伴。我公司生產(chǎn)的石英坩堝成晶率在80%—85%左右。規(guī)格有10、12、14、16、18、20、22吋。歡迎廣大客戶聯(lián)系： jjwking@163.com 展開