干涉顯微無損測量、微納米三坐標測量申報國家重點研發計劃專項

分類：前瞻

2020-01-05 16:53:33 1849閱讀次數

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無損檢測是工業發展必不可少的有效工具，在一定程度上反映了一個國家的工業發展水平，無損檢測的重要性已得到公認。三坐標檢測是檢驗工件的一種精密測量方法。廣泛應用于機械制造業，汽車工業等現代工業中。運用三坐標測量機對工件進行形位公差的檢驗和測量。判斷該工件的誤差是不是在公差范圍之內。也叫三坐標測量。

國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項：“硅基MEMS高深寬比三維結構的干涉顯微無損測量技術”課題三“測量系統的量值溯源、校準與誤差補償”以及“跨尺度微納米三坐標測量基礎理論與技術”課題三“非接觸納米定位技術”，均由上海計量院負責。

近日，上訴兩個課題，上海計量院成功申報國家重點研發計劃專項。上海計量院將打破原有思維模式，積極探索跨行業、跨單位、跨部門的科技項目合作模式，聯合國內高校、科研院所和龍頭企業協同創新，全力以赴建設與上海張江綜合性國家科學中心相適應的質量技術基礎平臺。

干涉顯微鏡

利用光波的干涉原理精確測量試樣表面高度微小差別的計量儀器。由于分開光束的方法不同，有不同類型的干涉顯微鏡，以及用于測定非均勻樣品的積分顯微鏡干涉儀。干涉顯微鏡主要用于測定活的或未固定的相互分散的細胞或組織的厚度或折射率。

無損檢測

也叫無損探傷，指在不損害或不影響被檢測對象使用性能,不傷害被檢測對象內部組織的前提下，利用材料內部結構異常或缺陷存在引起的熱、聲、光、電、磁等反應的變化，采用射線、超聲、紅外、電磁等原理技術并結合儀器對材料、零件、設備對試件內部及表面的結構、性質、狀態及缺陷的類型、性質、數量、形狀、位置、尺寸、分布及其變化進行檢查和測試的技術。常見的如超聲波檢測焊縫中的裂紋。

無損檢測的儀器

主要有射線檢驗(RT)、超聲檢測(UT)、磁粉檢測(MT)和液體滲透檢測(PT) 四種。其他無損檢測方法有渦流檢測(ECT)、聲發射檢測(AE)、熱像/紅外(TIR)、泄漏試驗(LT)、交流場測量技術(ACFMT)、漏磁檢驗(MFL)、遠場測試檢測方法(RFT)、超聲波衍射時差法(TOFD)等。

無損檢測的未來前景

無損檢測已不再是僅僅使用X 射線，包括聲、電、磁、電磁波、中子、激光等各種物理現象幾乎都被用做于了無損檢測，譬如：超聲檢測、渦流檢測、磁粉檢測、射線檢測、滲透檢測、目視檢測、紅外檢測、微波檢測、泄漏檢測、聲發射檢測、漏磁檢測、磁記憶檢測、熱中子照相檢測、激光散斑成像檢測、光纖光柵傳感技術，等等，而且還在不斷地開發和應用新的方法和技術。

譬如：射線檢測——傳統技術是：膠片射線照相(X 射線和伽馬射線)。

新技術有：加速器高能X射線照相、數字射線成像(DR)、計算機射線照相(CR，類似于數碼照相)、計算機層析成像(CT)、射線衍射等等。

超聲檢測——傳統技術是：A 型超聲(A 掃描超聲，A 超)。新技術有：B 掃描超聲(B 超)、C 掃描超聲(C 超)、超聲衍射(TOFD)、相控陣超聲、共振超聲、電磁超聲、超聲導波等等。

三坐標測量儀

指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(如光柵尺)經數據處理器或計算機等計算出工件的各點(x，y，z)及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

標簽：國家重點研發計劃專項干涉顯微無損測量微納米三坐標測量

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