大型工業容器在一般工業上的應用相當廣泛，這類容器在生產時需要對其密封性能進行檢測，如果泄漏嚴重，通常會對附屬設備、工藝條件產生不良影響。

       當容器的體積比較大，且需要進行真空檢漏時，就需要使用氦質譜檢漏儀搭配輔抽泵組一起來完成容器的內腔體泄漏檢測。具體實施過程是將輔抽泵組與被檢的容器連接后，通過泵組將腔體內部抽到一定的真空度，然后開啟檢漏儀，通過對容器表面可疑泄漏處（通常是焊縫、法蘭連接等）噴吹氦氣，觀察檢漏儀的讀數，來尋找泄漏點。

       下圖為安徽歌博科技有限公司為客戶提供氦質譜檢漏儀來檢測工業大腔體容器的氣密性，主要應用了負壓噴氦的檢漏方法。

       客戶現場的大腔體容器容積為2 m³，漏率要求為6.9*10^-10Pa.m³/s。因為工件漏率要求很高，所以要求工件內部要抽得足夠干凈，所以我們建議客戶配置分子泵組作為輔抽泵，同時配置真空計檢測腔體真空度。氦質譜檢漏儀連接在分子泵的排氣口和機械泵的進氣口之間。泵組與容器上焊接的KF40法蘭直接相連，先開機械泵對容器腔體抽真空，當真空度達到10Pa時開啟分子泵。經過大約一個半小時的抽空，容器腔體內真空度達到了0.5Pa，此時打開檢漏儀檢漏口的真空擋板閥，測得系統本底值為5.0*10^-10Pa.m³/s，即可以進行噴氦檢漏。我們由近及遠，由上到下，在法蘭連接及焊縫處等可疑漏點噴吹少量氦氣，觀察檢漏儀的讀數是否上升，來查找漏點并進行封堵。待查完漏點后，再用薄膜將容器整體包裹住，向薄膜內充一定濃度的氦氣，可通過氦氣濃度儀來判斷充入氦氣的濃度。觀察檢漏儀穩定后的讀數，即可判斷工件整體漏率是否合格。