納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800對(duì)多層膜無損測(cè)量分析

來源：日立分析儀器（上海）有限公司      分類：應(yīng)用方案 2020-06-04 11:20:33 1139閱讀次數(shù)

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對(duì)于材料和加工工業(yè)中廣泛使用的紙制品、樹脂產(chǎn)品、金屬鍍膜等，表面形貌和表面粗糙度測(cè)量在防止故障或質(zhì)量控制中起重要作用。尤其，當(dāng)多層薄膜出現(xiàn)不良產(chǎn)品時(shí)，需要確定是表面，界面或是層內(nèi)哪個(gè)部位出現(xiàn)了問題。在大多數(shù)情況下，是進(jìn)行切割以確定異常部位。但是，某些樣品是不能進(jìn)行切割的，無損檢測(cè)就變得極為重要。納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800，可同時(shí)滿足上述高精度的表面形貌測(cè)量及對(duì)多層膜的無損測(cè)量，在材料和加工工業(yè)中實(shí)現(xiàn)了廣泛的應(yīng)用。

下面就以兩個(gè)實(shí)例來對(duì)多層膜無損測(cè)量分析的功能進(jìn)行介紹。

1.透明樣品：金屬鍍膜分析

以下是對(duì)金屬透明鍍膜進(jìn)行無損測(cè)量分析的一個(gè)實(shí)例，從分析數(shù)據(jù)中可以得到表面，界面三維形貌，以及厚度分布的三維圖像，對(duì)于大范圍的面分析以及厚度參差不齊有一個(gè)更為直觀和清晰的認(rèn)識(shí)。

2.不透明樣品：名片印字部分分析

以下是對(duì)名片印字部分進(jìn)行無損測(cè)量分析的一個(gè)實(shí)例，從分析數(shù)據(jù)中可以得到表面三維形貌，并且可以觀察到碳粉和紙之間的分界面，從而可以測(cè)量碳粉的厚度，如圖所以，紅色部分碳粉的厚度為2.6?。

綜上所述，使用日立納米尺度3D測(cè)量系統(tǒng)，針對(duì)透明、半透明樣品甚至某些特殊的不透明樣品，嘗試內(nèi)部結(jié)構(gòu)的無損測(cè)量，得到多層結(jié)構(gòu)每層厚度、內(nèi)部缺陷、每層界面粗糙程度等等信息。為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的解決方案。

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