XRD檢測-多層膜XRR
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引言
X射線反射率（XRR：X-Ray Reflectivity）單層薄膜或多層膜中各層薄膜的密度、膜厚、粗糙度等結構參數的有效無損檢測手段。
實例
Cu/Ta/Si(襯底)多層膜XRR曲線（紅色點），擬合曲線（藍色實線）以及結果（右上角）
XRR測試準確確定了各層面表層Cu2O可能的Cu層氧化導致的。
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